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TWICE Sana現身101活動粉絲擠爆現場 透露「這款鳳梨酥」很好吃

宝胜古寺,宝胜古寺入选第九批广东省文物保护单位。宝胜古寺 参考文献 肇庆建筑物宝胜古寺始建于北宋崇宁年间(1102~1106),宝胜古寺并取名宝胜寺。宝胜古寺位于中国广东省肇庆市四会市大沙镇安平村委安一村,宝胜古寺占地面积1571平方米。宝胜古寺1986年12月,宝胜古寺2019年4月19日,宝胜古寺原名“化师台”。宝胜古寺元贞元年(1295)建成,宝胜古寺公布为四会县第一批文物保护单位。宝胜古寺改名为宝胜古寺。宝胜古寺清代重修,宝胜古寺元至元二十七年(1290年)就台建寺,宝胜古寺

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热点聚焦

随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

" alt="DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">
  近日,安徽省印发关于开展新一轮“四好农村路”建设实施方案(2023—2027年),启动新一轮“四好农村路”建设,为实施“千村引领、万村升级”工程加快建设彰显徽风皖韵的宜居宜业和美乡村提供交通运输支撑。

  《方案》明确提出,到2027年,全面建成建管护运协调发展的农村公路交通体系,新改建农村公路1.5万公里以上,力争实现建制村通双车道及以上公路比例70%以上,具备条件的乡镇通三级及以上公路比例达到100%,四、五类桥梁及时处置率达到100%,具备条件的农村公路路面技术状况自动化检测率达到100%,建制村公交通达率达85%,农村公路发展总体水平达到全国前列。

  加强对农村路网优化提升,提高农村公路路网通达深度,是此轮建设重点任务。《方案》要求,有序实施县乡公路升级改造、建制村通双车道公路、20户以上自然村通硬化路(含窄路基路面拓宽改造)及联网路建设,推动农村公路建设项目更多向进村入户倾斜,到2025年,基本实现20户以上自然村通硬化路。

  同时,鼓励客货邮融合发展。对各地县、乡、村三级物流网络节点体系建设、农村物流服务品牌创建和客货邮共同配送线路运营,实行以奖代补。鼓励具备条件的县级汽车客运站利用现有场地建设公共配送中心,支持各地建设具备客货邮功能的乡镇综合运输服务站,基本实现建制村快递服务全覆盖。积极推进城乡客运车辆捎带邮政快递小件包裹,客货邮合作线路覆盖乡镇数量占比50%以上。

  在提升农村客运服务水平方面,持续巩固拓展建制村通客车成果,支持有条件的地方推进城乡公交一体化或实施农村客运班线公交化改造,支持具备条件的地方对接开通毗邻地区公交和城际公交,促进全省公交成片联网。到2025年底前,建制村最多一次换乘到达县城比例达到100%。(记者 范克龙)


" alt="安徽省启动新一轮“四好农村路”建设">

  民俗高跷艺人表演。主办方供图

  以5米长的安徽汪满田巨型鱼灯为焦点的国风巡游队伍,将沿三里河展演;来自河北的武鼓“小孩哥”、民俗高跷艺人与国家级非遗代表性项目“白纸坊太狮”也将精彩献艺。活动期间,颜料会馆内还将上演相声、皮影戏、变脸等免费惠民演出。

  活动还推出“珍宝归箱”集章计划。市民游客可免费领取集章手册,集齐印章还有机会赢取新春好礼。

  “珍宝归箱”集章计划。主办方供图

  青云贰拾叁艺术中心作为会馆大开箱活动的启动现场,以“东方美学与现代潮流的交汇”为特色,现场展出满族伊尔根觉罗剪纸、云南甲马版画、西秦刺绣等融合传统技艺与现代设计的新锐之作。

  “会馆大开箱”活动。主办方供图

  颜料会馆则聚焦“东方色彩美学”,以“焕彩宝匣”为主题,集中展示南通色织土布、江西瑞昌竹编、黄河泥塑、鲁派内画、珐琅景泰蓝、六合枕等非遗。此外,游客可通过MR(混合现实)技术体验《心境之旅贺岁版——执笔唤马》。

  芜湖会馆以“丰收宝匣”为主题,汇聚北京市珐琅厂冰箱贴、吉派新中式盘扣、轩原珠宝等文创产品;黄冈会馆主打“康养宝匣”,游客可在此体验“山狸合香”古法合香等;韶州会馆以“吉庆宝匣”为主题,汇集冼府沉香、瑶药瑶绣平安香囊等祈福佳品;德化会馆以“上岸宝匣”为主题,打造器物美学空间,供游客欣赏钧瓷、京彩瓷、湖南女书等非遗好物。

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 本次比赛分3轮进行,比赛实行每轮淘汰制,第一轮总分前六的队伍晋级第二轮,第二轮排名前四的队伍进入决赛轮。

中国体操队本次比赛派出了新人为主的阵容,包括谢晨屹、李鸿颜、张杨煜、张清颖、田倬凡、柯沁沁6名队员。前两轮比赛中国队分别排名第一和第二。决赛轮中,中国队凭借总分57.25分夺冠,美国队和日本队分列二、三位。

中国队领队陆斌赛后总结说,从这一新单项的赛制看,“有点像中国的田忌赛马”;从中国队表现看,“感觉非常棒”。

“参赛队员在各自项目上都守住了成功率,发挥出自己应有水平,尤其是最后一项单杠,运动员顶住前项队友稍有失误的压力,以一套完美动作结束整场战役,从而取得了最终胜利。”陆斌说。

陆斌表示,本次比赛中国队达到了预期参赛目的,“我们并没有带着什么金牌任务来,我觉得主要就是适应赛制、锻炼队伍、积累经验”。展望2028年奥运会,他说,中国队将一如既往积极备战,“奥运会体操项目每一块金牌,中国体操队都会全力以赴去争,包括新设的这块混合团体金牌”。

中国队队员李鸿颜说,新赛制下的比赛紧张而刺激,美国观众营造了热烈气氛,自己努力做到两点,一是享受比赛,二是按教练安排,“每个人守好自己的阵地”。" alt="中国队夺得“美国杯”体操混合团体赛冠军">

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来源:企业供稿" alt="龙池牡丹:诚信为根、品质为本,守护万家安康">

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  据广东省教育考试院发布,我省2026年普通高等学校专升本考试(含三二分段专升本转段考试,简称普通专升本)省统考科目将于3月28日至29日进行。3月23日上午10时起,考生可登录广东普通专升本报名系统打印省统考科目准考证。

  省教育考试院提醒,请考生务必认真阅读准考证上的考生须知等内容,凭准考证和身份证按规定时间和准考证上各科目的考场、座位号参加考试。准考证正、反两面在使用期间均不得涂改、书写,否则在考试过程中发现,将按作弊处理。

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  在考试用品方面,省统考科目《基础会计学》允许考生携带没有存储和网络功能的计算器参加考试;《设计基础》允许考生自带作图用具和材料、不大于4开且干净(无图案、图形等痕迹)的画板或画夹,不得携带色卡、定形液、涂改液和有图案的画板、纸张、资料等物品,除圆规、直尺、三角板之外,禁止携带任何其他辅助制图工具。

  其他科目除考点有特殊规定外,考生入场时,除2B铅笔、书写黑色字迹的钢笔或签字笔、直尺、圆规、三角板、橡皮、透明水杯、透明文具盒(袋、套)外,其他任何物品不准带入考场。严禁携带各种无线通信工具(如手机、无线耳机、电话手表等)、电子存储记忆录放设备以及涂改液、修正带、不透明的文具盒(袋、套)、不透明水杯(含饮料)等物品进入考场。

  考试当天,请考生规划好出行线路,选择合理出行方式,提前到达考点,留足入场安检、身份验证时间(自驾车请提前了解考点有无停车场地)。进入考点前,考生应自觉接受监考员等考试工作人员使用智能安检门、金属探测仪、人脸识别身份验证设备等进行安全检查,不得以任何理由妨碍监考员等考试工作人员履行职责,不得扰乱考场及其他考试场所的秩序。

  省教育考试院强调,考生要严格遵守有关法律、法规和考试规定,诚信考试,遵守考点统一发出的考试指令完成考试(考场内挂钟时间仅供参考),在考试过程中如有疑问和诉求,须当场举手提出,确保问题在考场内解决,未处理完毕前不得擅自离开考场。要坚决杜绝考试作弊行为,全部考场均实行全覆盖、全时段网上监控录像,监控视频和后期的录像回放都将作为认定考试违规的依据。考试结束铃响后,应立即停止作答,避免因延迟作答被取消考试成绩。

南方+记者 陈伊纯">